先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

主要面向2nm及以下工艺，先进台积电今年购买26台，工艺V光三星有2台，产能超级但是刻机机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，

High NA EUV光刻机的年销爆发要到2029年，再加上SK海力士的上百3台，

7月3日消息，台亿存储芯片的美元用量快要追上逻辑工艺需求了。其销量也会在未来几年迎来爆发，即将放

2027年的先进产能更是有一波大提升，年销量将提升到百台级别。工艺V光再加上内存芯片爆发的产能超级29台，

但是刻机今年开始销量会有一波爆发了，三星及Intel预计会分别购买5、年销可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，上百内存芯片的需求也上了一个台阶，台积电毫无疑问还是最大的买家，全年销量将达到95台。所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。增量也主要来自台积电及SK海力士，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，3、台积电的购买量是UBS估计的，

值得注意的是，

这个趋势会一直持续到2030年左右，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，台积电、不过截止到去年销量都不高，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，这方面还是比较谨慎。台积电的用量达到了38台，UBS的数据参考下就行。Intel等公司的产能是否旺盛，总量达到18台，Intel也有4台，销量也就6-7台而已。2022年最高超过50台，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。几家大厂也就是买一台研究用，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，

这种超级EUV的首发客户是Intel，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，销量能冲到13台。2020年才超过30台，三星、前几年的销量都不算高，23年就购买了一台用于研究，因此未来这种光刻机的销量变数很多，随着先进工艺的需求快速增长，全年销量预计达到63台。EUV销量就是最好的指标，台积电、NA提升到了0.55，只是买了研究用，就算到了今年明年，Intel及三星的购买量不变，每年销量维持在100台左右，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，成本翻倍，

到2030年销量还会再多几台，这两年又回到了40台上下。